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申请/专利权人：无锡优联创芯机电设备有限公司
摘要：本实用新型涉及匀胶显影机技术领域，具体涉及一种多工位晶圆匀胶显影机，包括匀胶显影机本体，匀胶显影机本体的左侧并列安装有胶液箱和显影液箱，显影液箱的顶部安装有L状支撑架；收集腔，其开设在匀胶显影机本体的内部；滤板和吸附板，其从上至下依次安装在收集腔的内部。本实用新型克服了现有技术的不足，通过设置滤板、吸附板以及紫外线消毒灯，废水经过连通口集中排入收集腔内，先经过滤板处进行过滤处理，随后过滤后的废水经过活性炭材质的吸附板，对废水吸附净化，接着紫外线消毒灯发射紫外线对废水消毒处理，最终打开控制阀将液体通过排液口排出，且收集腔底部呈倾斜状，便于快速将内部液体排出，从而减少对环境造成的影响。
主权项：1.一种多工位晶圆匀胶显影机，其特征在于，包括：匀胶显影机本体1，所述匀胶显影机本体1的左侧并列安装有胶液箱2和显影液箱3，所述显影液箱3的顶部安装有L状支撑架4，收集腔27，其开设在所述匀胶显影机本体1的内部；滤板20和吸附板21，其从上至下依次安装在所述收集腔27的内部；紫外线消毒灯22，其对称安装在所述匀胶显影机本体1的内部；电动缸13，其等距安装在所述支撑架4的底部，且电动缸13的输出端均连接有活塞杆23；电机二24，其均安装在所述活塞杆23的前端，所述电机二24的输出端均连接有转轴二25，且转轴二25的前端均安装有L状的刮板26。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡优联创芯机电设备有限公司 一种多工位晶圆匀胶显影机
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