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申请/专利权人：京东方华灿光电(苏州)有限公司
摘要：本公开提供了一种晶粒吸取装置及分选机，属于半导体制备领域。该晶粒吸取装置，包括：摆臂和真空吸取组件；真空吸取组件包括吸嘴、连接管、储晶罐和真空源，吸嘴与摆臂相连，连接管的一端与吸嘴相连，连接管的另一端与储晶罐的进气口相连，储晶罐的出气口与真空源相连。本公开能够提高半导体芯片的制备效率。
主权项：1.一种晶粒吸取装置，其特征在于，包括：摆臂10和真空吸取组件20；所述真空吸取组件20包括吸嘴210、连接管220、储晶罐230和真空源240，所述吸嘴210与所述摆臂10相连，所述连接管220的一端与所述吸嘴210相连，所述连接管220的另一端与所述储晶罐230的进气口230a相连，所述储晶罐230的出气口230b与所述真空源240相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 京东方华灿光电(苏州)有限公司 晶粒吸取装置及分选机
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