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申请/专利权人：中国计量大学
摘要：本发明公开了一种基于视觉检测OCR的晶圆分选机，主要涉及半导体晶圆分选领域，包括晶圆上料装置、晶圆转运装置、晶圆OCR信息检测装置、晶圆缓存装置、不合格晶圆缓存装置、控制单元。本发明的有益效果在于：提高了检测效率和检测质量，缩短生产节拍，推动晶圆分选过程中全自动化分选晶圆。
主权项：1.一种基于视觉检测OCR的晶圆分选机，其特征在于包括晶圆上料装置、晶圆转运装置、晶圆OCR信息检测装置、晶圆缓存装置、不合格晶圆缓存装置、控制单元；所述晶圆上料装置包括旋转气阀1、料盒开盖板2、料盒垫板3、料盒4、一号气缸5、一号气缸固定板6、气缸垫高板7、光杆8、二号气缸9、二号气缸固定板10、三号气缸11、四号气缸12、调节螺丝13和调节孔14，旋转气阀1、一号气缸5、二号气缸9、三号气缸11和四号气缸12由控制单元进行控制；所述晶圆转运装置包括模组固定板15、插板盖板16、陶瓷插板17、一号伺服电机18、二号伺服电机19和三号伺服电机20，一号伺服电机18、二号伺服电机19和三号伺服电机20由控制单元进行控制，设有多个与伺服电机数目相对应的导轨，多个所述的导轨分别由一号伺服电机18、二号伺服电机19和三号伺服电机20驱动；所述晶圆OCR信息检测装置包括四号伺服电机21、固定夹连接件22、固定夹23、检测相机24、五号气缸25、六号气缸26、晶圆固定圆帽27和三角圆周架28，固定夹23安装在固定夹连接件22上，晶圆固定圆帽27安装在三角圆周架28上方，检测相机24安装在料盒垫板3的圆孔里，五号气缸25和六号气缸26由控制单元进行连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国计量大学 一种基于视觉检测OCR的晶圆分选机
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