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申请/专利权人：西北工业大学
摘要：本发明涉及一种微电子技术领域，具体涉及一种光栅调控偏振探测器、制备方法及应用，首先选择在透明导电衬底上通过激光直写技术刻蚀形成衬底光栅结构，随后再通过溶液法将活性层与衬底光栅的外表面贴合，由于旋涂厚度均匀，从而使活性层表面形成与衬底光栅结构匹配的目标光栅结构，进而能够在活性层的上端面直接形成需要的光栅结构；通过该方式制备的偏振探测器避免对活性层直接进行加工，保证活性层表面完好，提高偏振探测器的偏振特性、长期稳定性以及光响应特性；而且通过激光在透明导电衬底上加工衬底光栅结构，进一步实现活性层上大面积、短周期微纳光栅结构的形成，满足实际使用需求。
主权项：1.一种光栅调控偏振探测器制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、根据透明导电衬底2的损伤阈值确定激光束的能量密度；S2、利用激光直写技术在透明导电衬底2顶部端面加工衬底光栅7；S3、对步骤S2得到的透明导电衬底2进行清洁处理；S4、利用溶液法将活性层4沿衬底光栅7外轮廓均匀旋涂，使活性层4上端面形成目标光栅8后通过溶液法在目标光栅8的外表面贴合电子传输层5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西北工业大学 一种光栅调控偏振探测器、制备方法及应用
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