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自动光学复判系统及其方法 

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申请/专利权人:由田新技股份有限公司

摘要:一种由外部接收瑕疵信息与对应所述瑕疵信息的待测物的自动光学复判系统。所述系统包括光源装置、图像获取装置以及瑕疵筛选模块。光源装置提供光源至检测范围上的待测物。图像获取装置根据瑕疵信息拍摄待测物上对应的瑕疵区域,以获得多个瑕疵区域图像。瑕疵筛选模块接收并分析瑕疵区域图像,以产生色光复判结果与荧光复判结果,以判断瑕疵区域图像是否为真实瑕疵图像。瑕疵筛选模块根据色光复判结果产生荧光复判结果。一种自动光学复判方法亦被提出。

主权项:1.一种自动光学复判系统,由外部接收瑕疵信息与对应所述瑕疵信息的待测物,其特征在于,所述系统包括:光源装置,提供光源至检测范围上的所述待测物;图像获取装置,根据所述瑕疵信息,拍摄所述待测物上对应的瑕疵区域,以获得多个瑕疵区域图像;以及瑕疵筛选模块,接收并分析所述多个瑕疵区域图像,以产生色光复判结果与荧光复判结果,以判断所述多个瑕疵区域图像是否为真实瑕疵图像;其中所述瑕疵筛选模块根据所述色光复判结果产生所述荧光复判结果。

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权利要求:

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