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申请/专利权人：意法半导体国际公司
摘要：本公开的实施例涉及具有可移动质量块和止动件机构的微机电装置。微机电装置包括支撑体和可移动质量块，支撑体包含半导体材料，可移动质量块在可容许位置的范围内以相对于至少一个运动方向的相对的自由度被约束到支撑体。该装置还包括止动件元件，该止动件元件可由于沿着至少一个运动方向的移动而被可移动质量块操作，并且被配置为在可移动质量块到达可容许位置的范围的相应的端点时，横向于至少一个运动方向向可移动质量块的相对的侧施加止动力，以防止可移动质量块超过相应的端点。
主权项：1.一种微机电装置，包括：支撑体，所述支撑体包含半导体材料；可移动质量块，所述可移动质量块在位置的范围内以相对于至少一个运动方向的相对的自由度被约束到所述支撑体；止动件元件，所述止动件元件能够由于沿着所述可移动质量块的所述至少一个运动方向的移动而被所述可移动质量块操作，并且所述止动件元件被配置为在操作中在所述可移动质量块到达所述位置的所述范围的相应的端点时横向于所述至少一个运动方向向所述可移动质量块的相对的侧施加止动力，以防止所述可移动质量块超过相应的所述端点。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 意法半导体国际公司 具有可移动质量块和止动件机构的微机电装置
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