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申请/专利权人：苏州希景微机电科技有限公司
摘要：本申请公开了一种蒸镀方法，涉及材料表面处理技术领域。蒸镀方法包括：使用沾有预设溶液的无尘布擦拭蒸镀材料，其中，预设溶液为可腐蚀蒸镀材料的溶液；采用吹气装置吹扫蒸镀材料；将蒸镀材料放置于蒸镀设备的蒸镀腔室内，并对蒸镀材料进行预融；以及，将蒸镀材料蒸镀至基片表面。通过上述方式，能够减少蒸镀形成的薄膜表面的黑色颗粒。
主权项：1.一种蒸镀方法，其特征在于，包括：使用沾有预设溶液的无尘布擦拭蒸镀材料，其中，所述预设溶液为可腐蚀所述蒸镀材料的溶液；采用吹气装置吹扫所述蒸镀材料；将所述蒸镀材料放置于蒸镀设备的蒸镀腔室内，并对所述蒸镀材料进行预融；以及，将所述蒸镀材料蒸镀至基片表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州希景微机电科技有限公司 蒸镀方法
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