龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种方法包括：确定从与处理腔室相关联的经训练的机器学习模型被训练以来，所述处理腔室的条件已经变化。所述方法进一步包括：确定所述处理腔室的所述条件的变化是逐渐变化还是突然变化。响应于确定所述处理腔室的所述条件的所述变化是逐渐变化，所述方法进一步包括：执行第一训练过程以生成新的机器学习模型。响应于确定所述处理腔室的所述条件的所述变化是突然变化，所述方法进一步包括：执行第二训练过程以生成所述新的机器学习模型。所述第一训练过程与所述第二训练过程不同。
主权项：1.一种方法，包括：确定从与处理腔室相关联的经训练的机器学习模型被训练以来，所述处理腔室的条件已经变化，其中所述经训练的机器学习模型被配置为接收与所述处理腔室的工艺相关联的传感器数据作为输入，并生成对所述处理腔室的性能的第一指示作为输出；确定所述处理腔室的所述条件的变化是逐渐变化还是突然变化；响应于确定所述处理腔室的所述条件的所述变化是逐渐变化，执行第一训练过程以生成新的经训练的机器学习模型；以及响应于确定所述处理腔室的所述条件的所述变化是突然变化，执行第二训练过程以生成所述新的经训练的机器学习模型，其中所述第二训练过程与所述第一训练过程不同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于制造装备的机器学习模型生成和更新
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号