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申请/专利权人：晶科能源(上饶)有限公司;晶科能源(海宁)有限公司
摘要：本发明提供了一种太阳能电池及其硼扩散方法、叠层电池、光伏组件，涉及光伏技术领域，硼扩散方法包括前硼掺杂和在后执行的后硼掺杂；前硼掺杂至少包括第一次升温阶段、恒温阶段、第二次升温阶段、第一次扩散阶段、恒温阶段、第二次扩散阶段，在第二次扩散阶段，向扩散炉中通入硼源、二氯乙烷、氧气和氮气；后硼掺杂至少包括第一次升温阶段、第二次升温阶段、第三次升温阶段、氧化阶段，在氧化阶段，向扩散炉中通入二氯乙烷和氧气；后硼掺杂的氧化阶段中二氯乙烷的通入量大于前硼掺杂的第二次扩散阶段中二氯乙烷的通入量。通过在前硼掺杂和后硼掺杂的部分阶段通入二氯乙烷，以提升硼扩方阻的均匀性，并有利于提升氧化速率，缩短工艺时间。
主权项：1.一种太阳能电池的硼扩散方法，其特征在于，所述硼扩散方法包括前硼掺杂和后硼掺杂，所述后硼掺杂在所述前硼掺杂之后执行；所述前硼掺杂至少包括第一次升温阶段、恒温阶段、第二次升温阶段、第一次扩散阶段、恒温阶段、第二次扩散阶段，其中，在所述第二次扩散阶段，向扩散炉中通入硼源、二氯乙烷、氧气和氮气；所述后硼掺杂至少包括第一次升温阶段、第二次升温阶段、第三次升温阶段、氧化阶段，其中，在所述氧化阶段，向所述扩散炉中通入二氯乙烷和氧气；其中，所述后硼掺杂的氧化阶段中二氯乙烷的通入量大于所述前硼掺杂的第二次扩散阶段中二氯乙烷的通入量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 晶科能源(上饶)有限公司 晶科能源(海宁)有限公司 太阳能电池及其硼扩散方法、叠层电池、光伏组件
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