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申请/专利权人:朗姆研究公司
摘要:描述了一种用于减少衬底特征之间变化性的方法。该方法包括通过单个射频RF发生器产生RF信号。该方法还包括通过单个RF发生器修改RF信号以在一定时间段内的三种状态或四种状态之间交替。
主权项:1.一种用于减少衬底特征之间的变化性的方法,其包括:通过单个射频RF发生器产生射频RF信号;以及在第一时间段内修改所述RF信号以在至少三种状态之间转换。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 朗姆研究公司 用于减少衬底特征中的变化性的系统和方法
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