龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：溧阳中科海钠科技有限责任公司
摘要：本发明涉及气相沉积技术领域，具体公开了一种低能耗低排放化学气相沉积方法与装置，其将沉积工艺区划分为物理隔开的升温区、沉积区和降温区，各个功能区彼此独立进气、独立出气且独立温控，升温区和降温区内设置有用于实现气体在本区域内垂直于进料方向进行层流的引流组件，待沉积物料自动、依序通过升温区、沉积区和降温区后输出，沉积完成后回收升温区和降温区内的气体及其热量进行再利用。本发明既使得沉积气氛更为均匀，沉积效果好，又实现了气体及热量的回收利用，有助于降低CVD的能耗和载气消耗量，减少排放量，而且实现了控制精确的连续式沉积，使得粉末类电池材料如硅碳、磷碳负极材料的规模化、连续化的工业生产成为可能。
主权项：1.一种低能耗低排放化学气相沉积方法，其特征在于，将沉积工艺区划分为物理隔开的升温区、沉积区和降温区，所述升温区、所述沉积区和所述降温区彼此独立进气、独立出气且独立温控，所述升温区和所述降温区内设置有用于实现气体在本区域内垂直于进料方向进行层流的引流组件，待沉积物料自动、依序通过所述升温区、所述沉积区和所述降温区后输出，沉积完成后回收所述升温区和所述降温区内的气体及其热量进行再利用。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 溧阳中科海钠科技有限责任公司 一种低能耗低排放化学气相沉积方法与装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号