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申请/专利权人：北京科技大学
摘要：一种TM多模微波等离子体化学气相沉积装置，属于微波等离子体法化学气相沉积领域，具体涉及。包括：微波电源、矩形波导、三销钉调配器、短路活塞、同轴线模式转换器、环形石英窗、非圆柱形微波谐振腔、测温窗口、观察窗口、进气口、排气口、冷却水口、沉积台、可升降式衬底台调谐结构、偏压电极。非圆柱形微波谐振腔上部圆柱结构直径较小，用于产生TM01模；下部圆柱结构直径较大，用于产生TM02模。TM01和TM02模在衬底处叠加，激发大面积、均匀等离子体。腔室侧面采用了斜面结构，使得微波在衬底处聚焦，增强了衬底表面的电场。相较于典型TM01或TM02单模装置的2英寸有效沉积面积，本多模装置可实现更大尺寸的等离子体放电，可将有效沉积面积拓广至4英寸。
主权项：1.一种TM多模微波等离子体化学气相沉积装置，包括2.45GHz微波电源、矩形波导、三销钉调配器、短路活塞、同轴线模式转换器、环形石英窗、非圆柱形微波谐振腔、测温窗口、观察窗口、进气口、排气口、冷却水口、沉积台、可升降式衬底台调谐结构、偏压电极，其特征在于：非圆柱形谐振腔、环形石英窗和沉积台结构组成完整的真空腔室；环形石英窗安置于沉积台下方，并通过胶圈密封与沉积台和非圆柱形谐振腔形成真空腔；进气口位于非圆柱形谐振腔上方处，且沿轴向每隔90°设置一进气口，共有4个进气口；排气口位于沉积台结构径向中心位置，且沿轴向每隔60°设置一排气口，共有6个排气口；可升降式衬底台调谐结构可上下运动，用于微波电场及等离子体的实时调谐；所述的非圆柱形微波谐振腔为不锈钢材质，由两个不同直径的圆柱体构成；上部圆柱直径较小，用于在微波谐振腔产生TM01模；下部圆柱直径较大，用于在微波谐振腔产生TM02模；两个圆柱的直径比用以满足产生多种谐振模式的要求；TM01TM02多模混合不仅可以增强微波电场和提升等离子体密度，而且可使等离子体在大尺寸衬底表面上方分布更加均匀。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京科技大学 一种TM多模微波等离子体化学气相沉积装置
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