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申请/专利权人：深圳市新凯来工业机器有限公司

摘要：本申请涉及等离子刻蚀技术领域，尤其涉及到一种气体分配装置及电容耦合等离子体刻蚀设备。气体分配装置中的气体流量比例分配器具有m个气体分配区，气体分配区可接入工艺气体；管路组件的第一端与m个气体分配区连通，管路组件的第二端与气体喷淋头组件连通；气体喷淋头组件包括n组进气口，气体喷淋头组件通过n组进气口均与管路组件的第二端连通，气体喷淋头组件可对工艺气体进行均气，形成n个出气区，n个出气区以气体喷淋头组件的中心向其边缘扩散，m大于等于2，n个大于m；m个气体分配区中的至少一个气体分配区中的工艺气体从n个出气区中的至少两个出气区中流出。本申请中的气体分配装置可通过调节管组件，满足不同的工艺需要。

主权项：1.一种气体分配装置，其特征在于，包括：气体流量比例分配器、管路组件、以及气体喷淋头组件：所述气体流量比例分配器具有m个气体分配区，每个所述气体分配区用于接入工艺气体；所述管路组件用于与所述m个气体分配区连通，并将所述气体分配区输出的工艺气体输入到所述气体喷淋头组件；所述气体喷淋头组件包括n组进气口，每组所述进气口包括一个或者多个进气口；所述气体喷淋头组件用于通过所述n组进气口接收所述管路组件输出的工艺气体，并对接收的工艺气体进行均气，以形成n个出气区，n个所述出气区以所述气体喷淋头组件的中心向所述气体喷淋头组件边缘扩散，其中，所述n大于m，且所述m大于等于2；所述n组进气口与所述n个出气区一一对应；其中，所述m个气体分配区中的至少一个气体分配区中的工艺气体从所述n个出气区中的至少两个出气区中流出；所述管路组件包括多个气体管路，所述多个气体管路与所述m个气体分配区一一对应，所述多个气体管路中，每个所述气体管路的第一端与一个所述气体分配区连通，至少一个所述气体管路的第二端与至少两组所述进气口连通；每个所述气体管路均包括主管路和子管路组，所述子管路组包括一个或多个子管路，每个所述子管路上均设置有电磁阀；所述主管路的第一端与所述气体分配区连通，所述主管路的第二端与所述子管路组的第一端连通，其中，至少一个所述子管路组的第二端与至少两组所述进气口连通；所述m为4，所述n为6时，所述气体流量比例分配器包括第一气体分配区、第二气体分配区、第三气体分配区和第四气体分配区，所述气体喷淋头包括第一组进气口、第二组进气口、第三组进气口、第四组进气口、第五组进气口和第六组进气口；6个所述出气区分别为与所述第一组进气口对应的第一出气区、与所述第二组进气口对应的第二出气区、与所述第三组进气口对应的第三出气区、与所述第四组进气口对应的第四出气区、与所述第五组进气口对应的第五出气区以及与所述第六组进气口对应的第六出气区；所述第一出气区至所述第六出气区的截面宽度分别为30mm，30mm，30mm，30mm，20mm以及15mm；所述管路组件包括第一气体管路、第二气体管路、第三气体管路和第四气体管路；所述第一气体管路包括第一主管路和第一子管路组，所述第一子管路组包括一个或多个第一子管路、一个或多个第二子管路以及一个或多个第三子管路，所述第一子管路上设置有第一电磁阀，所述第二子管路上设置有第二电磁阀，所述第三子管路上设置有第三电磁阀，所述第一主管路的第一端与所述第一气体分配区连通，所述第一主管路的第二端分别与所述一个或多个第一子管路、所述一个或多个第二子管路和所述一个或多个第三子管路的第一端连通，其中，所述一个或多个第一子管路的第二端与所述第一组进气口连通，所述一个或多个第二子管路的第二端与所述第二组进气口连通，所述一个或多个第三子管路的第二端与所述第三组进气口连通；所述第二气体管路包括第二主管路和第二子管路组，所述第二子管路组包括一个或多个第四子管路、一个或多个第五子管路、一个或多个第六子管路以及一个或多个第七子管路，所述第四子管路上设置有第四电磁阀，所述第五子管路上设置有第五电磁阀，所述第六子管路上设置有第六电磁阀，所述第七子管路上设置有第七电磁阀，所述第二主管路的第一端与所述第二气体分配区连通，所述第二主管路的第二端分别与所述一个或多个第四子管路、所述一个或多个第五子管路、所述一个或多个第六子管路以及所述一个或多个第七子管路的第一端连通，所述一个或多个第四子管路的第二端与所述第二组进气口连通，所述一个或多个第五子管路的第二端与所述第三组进气口连通，所述一个或多个第六子管路的第二端与所述第四组进气口连通，所述一个或多个第七子管路的第二端与所述第五组进气口连通；所述第三气体管路包括第三主管路和第三子管路组，所述第三子管路组包括一个或多个第八子管路、一个或多个第九子管路以及一个或多个第十子管路，所述第八子管路上设置有第八电磁阀，所述第九子管路上设置有第九电磁阀，所述第十子管路上设置有第十电磁阀，所述第三主管路的第一端与所述第三气体分配区连通，所述第三主管路的第二端分别与所述一个或多个第八子管路、所述一个或多个第九子管路以及所述一个或多个第十子管路的第一端连通，所述一个或多个第八子管路的第二端与所述第四组进气口连通，所述一个或多个第九子管路的第二端以及一个或多个第十子管路的第二端均与所述第五组进气口连通；所述第四气体管路包括第四主管路和第四子管路组，所述第四子管路组包括一个或多个第十一子管路，所述第十一子管路上设置有第十一电磁阀，所述第四主管路的第一端与所述第四气体分配区连通，所述第四主管路的第二端与所述一个或多个第十一子管路的第一端连通，所述一个或多个第十一子管路的第二端与所述第六组进气口连通；所述第一气体分配区流出的工艺气体通过所述第一气体管路经所述第一组进气口和所述第二组进气口进入到所述喷淋头组件，并通过与所述第一出气区以及所述第二出气区流出；所述第二气体分配区流出的工艺气体通过所述第二气体管路经所述第三组进气口进入到所述喷淋头组件，并通过所述第三出气区流出；所述第三气体分配区流出的工艺气体通过所述第三气体管路经所述第四组进气口和所述第五组进气口进入到所述喷淋头组件，并通过所述第四出气区以及所述第五出气区流出；所述第四气体分配区流出的工艺气体通过所述第四气体管路经所述第六组进气口进入到所述喷淋头组件，并通过所述第六出气区流出；控制所述第一子管路上设置的所述第一电磁阀打开，所述第二子管路上设置的所述第二电磁阀打开，控制所述第三子管路上设置的所述第三电磁阀闭合；控制所述第四子管路上设置的所述第四电磁阀闭合，控制所述第五子管路上设置的所述第五电磁阀打开，控制所述第六子管路上设置的所述第六电磁阀闭合，控制所述第七子管路上设置的所述第七电磁阀闭合；控制所述第八子管路上设置的所述第八电磁阀打开，控制所述第九子管路上设置的所述第九电磁阀和所述第十子管路上设置的所述第十电磁阀中的一个打开，另一个闭合；控制所述第十一子管路上设置的所述第十一电磁阀打开。

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