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申请/专利权人：松山湖材料实验室

摘要：本发明公开了一种基于朗缪尔探针闭环控制的等离子体电源，其包括脉冲电源、直流电源、控制单元以及朗缪尔探针；控制单元的信号输入及调解模块分别与脉冲电源的IGBT斩波模块之输出端、直流电源的IGBT开关模块之输出端以及朗缪尔探针连接；移相PWM输出模块分别与脉冲电源的第一逆变模块和直流电源的第二逆变模块连接，PWM输出模块分别与脉冲电源的IGBT斩波模块和直流电源的IGBT开关模块连接。本发明主要解决PVD镀膜真空室内的负载变化没有实时反馈给等离子体电源的问题；本发明形成闭环控制，实时调整脉冲电源和直流电源的输出，其控制精度高，保证了PVD镀膜过程的高质量及稳定进行。

主权项：1.一种基于朗缪尔探针闭环控制的等离子体电源，其特征在于，包括脉冲电源、直流电源、控制单元以及朗缪尔探针；所述脉冲电源包括依次连接的第一整流滤波模块、第一逆变模块、第一变压器、第一桥堆整流模块以及IGBT斩波模块；所述直流电源包括依次连接的第二整流滤波模块、第二逆变模块、第二变压器、第二桥堆整流模块以及IGBT开关模块；所述脉冲电源的IGBT斩波模块和所述直流电源的IGBT开关模块汇合为公共输出端；所述控制单元包括主控、信号输入及调解模块、PWM输出模块以及移相PWM输出模块，所述主控分别与所述信号输入及调解模块、所述PWM输出模块以及所述移相PWM输出模块连接；所述控制单元的信号输入及调解模块分别与所述脉冲电源的IGBT斩波模块之输出端、所述直流电源的IGBT开关模块之输出端以及所述朗缪尔探针连接；所述移相PWM输出模块分别与所述脉冲电源的第一逆变模块和所述直流电源的第二逆变模块连接，所述PWM输出模块分别与所述脉冲电源的IGBT斩波模块和所述直流电源的IGBT开关模块连接；所述第一逆变模块包括场效应管Q2、场效应管Q5、场效应管Q3以及场效应管Q4；所述场效应管Q2、所述场效应管Q5、所述场效应管Q3以及所述场效应管Q4构成全桥逆变电路，所述场效应管Q2和所述场效应管Q5为一对桥臂，所述场效应管Q3和所述场效应管Q4为另一对桥臂，所述场效应管Q2的漏极和所述场效应管Q5的源极分别与所述第一整流滤波模块的输出端之两极连接，所述场效应管Q3的漏极和所述场效应管Q5的源极相连接，所述场效应管Q2的源极与所述场效应管Q3的源极相连接，所述场效应管Q5的漏极与所述场效应管Q4的漏极相连接，所述场效应管Q4的源极与场效应管Q2的漏极相连接；所述移相PWM输出模块分别控制所述场效应管Q2、所述场效应管Q5、所述场效应管Q3以及所述场效应管Q4的开关；所述第二逆变模块包括场效应管Q7、场效应管Q10、场效应管Q8以及场效应管Q9；所述场效应管Q7、所述场效应管Q10、所述场效应管Q8以及所述场效应管Q9构成全桥逆变电路，所述场效应管Q7和所述场效应管Q10为一对桥臂，所述场效应管Q8和所述场效应管Q9为另一对桥臂，所述场效应管Q7的漏极和所述场效应管Q10的源极分别与所述第二整流滤波模块的输出端之两极连接，所述场效应管Q8的漏极和所述场效应管Q9的源极分别与所述第二整流滤波模块的输出端之两极连接；所述场效应管Q7的源极和所述场效应管Q8的源极相连接，所述场效应管Q9的漏极与所述场效应管Q10的漏极相连接；所述移相PWM输出模块分别控制所述场效应管Q7、所述场效应管Q10、所述场效应管Q8以及所述场效应管Q9的开关；所述控制单元还包括第一光耦隔离模块，所述移相PWM输出模块通过所述第一光耦隔离模块分别与所述脉冲电源的第一逆变模块和所述直流电源的第二逆变模块连接。

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