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申请/专利权人：上海依然半导体测试有限公司
摘要：本实用新型涉及针尖去除氧化物技术领域，公开了一种探针卡加工装置，包括工作台，所述工作台底端固定设置有机罩，所述机罩内固定设置有电机，所述电机输出端固定设置有丝杆，所述丝杆上螺纹连接有顶板，所述顶板内开设有螺纹槽，所述顶板内开设有两个第一滑槽，两个所述第一滑槽内均设置有螺柱，两个所述螺柱底端均固定设置有卡盘。本实用新型中，使探针卡被固定夹持在顶板与卡盘之间，随后将探针卡上所有的针尖都短接好，将第一电线接入探针卡，将第二电线接入腐蚀液盘，即可使电机带动丝杆进行转动，与顶板上的螺纹槽进行配合后，即可控制顶板的上下调节，使顶板下降，控制针尖进入腐蚀液盘的距离，通过电源供电，即可将针尖一次性腐蚀好。
主权项：1.一种探针卡加工装置，包括工作台1，其特征在于：所述工作台1底端固定设置有机罩11，所述机罩11内固定设置有电机12，所述电机12输出端固定设置有丝杆10，所述丝杆10上螺纹连接有顶板2，所述顶板2内开设有螺纹槽20；所述顶板2内开设有两个第一滑槽19，两个所述第一滑槽19内均设置有螺柱8，两个所述螺柱8底端均固定设置有卡盘18，两个所述螺柱8上均螺纹连接有锁紧块7。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海依然半导体测试有限公司 一种探针卡加工装置
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