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申请/专利权人：泰克诺探头公司

摘要：描述了一种用于电子器件的测试装置的探针卡，包括至少一个支撑板33、以及柔性膜32和与该柔性膜的第一面F1相关联的多个接触探针35，所述多个接触探针35易于抵接在集成在半导体晶片34上的被测器件34'的多个接触垫34A上并且易于携带高频信号，探针卡包括至少一个滑动接触接触区域36，该滑动接触区域包括形成在支撑板33上的第一接触垫36A、在柔性膜32的外围部分32C处形成在柔性膜32上的易于在滑动接触区域36处按压接触在支撑板33上的第二接触垫36B、以及在滑动接触区域36处按压接触在柔性膜32的外围部分32C上的至少一个按压元件37，以将第二接触垫36B按压接触在第一接触垫36A上来在柔性膜32和支撑板33之间提供电接触和机械接触。

主权项：1.一种用于电子器件的测试装置的探针卡30，包括至少一个支撑板33、以及柔性膜32和多个在所述柔性膜32的中心部分32A处与所述柔性膜32的第一面F1接触的接触探针35，所述接触探针35易于抵接在集成在半导体晶片34上的被测器件34'的多个接触垫34A上并且易于携带高频信号，还包括至少一个接触区域36，其中第一接触垫36A形成在所述支撑板33上，以及第二接触垫36B在所述中心部分32A的外围部分32C处形成在所述柔性膜32上，所述柔性膜32易于在所述接触区域36处按压接触在所述支撑板33上，所述探针卡30还包括至少一个按压元件37，所述至少一个按压元件37在所述接触区域36处按压接触在所述柔性膜32的所述外围部分32C上以将所述第二接触垫36B按压接触在所述第一接触垫36A上，以提供所述柔性膜32和所述支撑板33之间的电接触和机械接触，所述按压元件37包括至少一个柔性头38，所述至少一个柔性头38易于在所述柔性膜32的第一面F1处抵接在所述柔性膜32的所述外围部分32C上，所述柔性头38易于在所述按压元件37的压紧条件下挤压，并且其特征在于：所述柔性头38具有至少一个接触面38C，所述接触面38C在正交于参考平面π的方向Z上布置在形成在所述柔性膜32上的第一接触垫36A处，所述参考平面π是包括至少一个被测器件34'的所述半导体晶片34的平面，并且所述柔性头38的形状为还包括相对于所述参考平面π的至少一个倾斜面38F，以在压紧期间沿第一方向S1上拉伸所述柔性膜32并且导致所述接触区域36的所述第一接触垫36A和第二接触垫36B在彼此上的局部滑动。

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百度查询： 泰克诺探头公司 用于高频应用的探针卡