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申请/专利权人：江西联创电子有限公司
摘要：本发明提供了一种光学薄膜膜厚监控装置，包括底壳、监控片、旋转件和弹性件；底壳包括基板和环绕部，基板上开设有一镀膜孔，环绕部设置于基板上且位于镀膜孔外侧，环绕部和基板形成一容纳槽；监控片为环形结构且中部具有第一避让孔，监控片设置于容纳槽内且位于基板上，监控片至少部分覆盖镀膜孔；旋转件与监控片通过卡接相连，旋转件带动所述监控片绕第一避让孔在基板上旋转，旋转件远离监控片的一侧设有凸起部；弹性件底部抵靠于所述凸起部上。本发明可以通过监控片旋转监控不同阶段的膜层厚度，精确控制镀膜厚度，提升镀膜水平，也提升了量产镀膜的良率，该装置结构简单，拆装方便，提高了工作效率。
主权项：1.光学薄膜膜厚监控装置，其特征在于，包括底壳1、监控片2、旋转件4和弹性件5；所述底壳1包括基板11和环绕部12，所述基板11上开设有一镀膜孔101，所述环绕部12设置于所述基板11上且位于所述镀膜孔101外侧，所述环绕部12和所述基板11形成一容纳槽103；所述监控片2为环形结构且中部具有第一避让孔201，所述监控片2设置于所述容纳槽103内且位于所述基板11上，所述监控片2至少部分覆盖所述镀膜孔101；所述旋转件4与所述监控片2通过卡接相连，所述旋转件4带动所述监控片2绕所述第一避让孔201在基板11上旋转，所述旋转件4远离监控片2的一侧设有凸起部402；所述弹性件5底部抵靠于所述凸起部402上。
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权利要求：
百度查询： 江西联创电子有限公司 光学薄膜膜厚监控装置
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