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申请/专利权人：苏州中科重仪半导体材料有限公司
摘要：本发明公开了一种气体供应系统及气体供应方法。根据本公开的气体供应系统包括罐体，罐体中储存有待供应气体；供气口与罐体相连通，以向外界供应待供应气体；第一管道的第一端与所体相连通，第一管道的第二端与供气口相连通；减压器设置在第一管道上，并位于第一管道的第一端和供气口之间；第二管道的第一端与罐体相连通，第二管道的第二端与供气口相连通；加热单元位于罐体上，以对罐体的内部进行加热；检测单元检测第一管道的第一端与减压器之间的第一管道中的待供应气体的压力值；在压力值处于不同压力区间时，采用不同的气体供应方案。根据本公开的气体供应系统及气体供应方法，能够保证供应气体的输出压力值稳定在所需范围内。
主权项：1.一种气体供应系统，包括：罐体，所述罐体中储存有待供应气体；所述待供应气体为氨气；供气口，所述供气口与所述罐体相连通，以向外界供应所述待供应气体；第一管道，所述第一管道的第一端与所述罐体相连通，所述第一管道的第二端与所述供气口相连通；减压器，所述减压器设置在所述第一管道上，并位于所述第一管道的第一端和所述供气口之间；第二管道，所述第二管道的第一端与所述罐体相连通，所述第二管道的第二端与所述供气口相连通；所述第二管道的第一端与所述第一管道相连通，且连通的位置位于所述第一管道的第一端与所述减压器之间的第一管道上；所述第二管道的第二端与所述第一管道相连通，且连通的位置位于所述减压器和所述供气口之间的第一管道上；加热单元，所述加热单元位于所述罐体上，以对所述罐体的内部进行加热；以及检测单元，所述检测单元检测所述第一管道的第一端与所述减压器之间的第一管道中的待供应气体的压力值，其中，在所述压力值处于第一压力区间时，所述待供应气体经由所述减压器减压后从所述供气口输出；在所述压力值处于第二压力区间时，所述待供应气体经由所述第二管道从所述供气口输出；在所述压力值处于第三压力区间时，所述待供应气体经由所述第二管道从所述供气口输出，并开启所述加热单元以对所述罐体的内部进行加热；所述第一压力区间中的压力值大于所述第二压力区间中的压力值；所述第二压力区间中的压力值大于所述第三压力区间中的压力值。
全文数据：
权利要求：
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