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申请/专利权人：赫克斯冈技术中心
摘要：本发明涉及物镜的光瞳像差的补偿。一种包括物镜20的物镜系统，物镜20包括一组光学元件，光学元件的光学特性引起物镜的光学像差，光学像差至少包括引起光束的边缘光线相对于光束的主光线的像差的图像像差和引起第一交点相对于第二交点沿物镜20的光轴的横向偏移的光瞳像差，第一交点由光轴与具有第一入射角的第一主光线的交点来定义，第二交点由光轴和具有第二入射角的第二主光线的交点来定义，第一入射角不同于第二入射角。系统包括光学补偿元件25，光学补偿元件25被配置成操纵透过该光学补偿元件25的光的传播路径，其中该光学补偿元件25相对于物镜20被配置和设置成使得由光瞳像差引起的横向偏移减小。
主权项：1.一种光学补偿元件25、25a至25d，所述光学补偿元件用于物镜系统，其中，所述光学补偿元件25、25a至25d被配置成能够安装在所述物镜系统的物镜上，并且其中，所述光学补偿元件25、25a至25d被配置成能够相对于所述物镜20安装成使得减小所述物镜20的横向偏移Δz，其中，光瞳像差引起第一交点相对于第二交点沿所述物镜的光轴的横向偏移Δz，所述第一交点由所述光轴与具有第一入射角的第一主光线的交点来定义，所述第二交点由所述光轴与具有第二入射角的第二主光线的交点来定义，所述第一入射角不同于所述第二入射角，其特征在于所述光学补偿元件25、25a至25d被配置成使得减小所述光瞳像差的程度显著大于减小图像像差的程度，以将非针孔物镜转换为具有针孔或准针孔特性，在所述物镜20的所述图像像差基本保持不被改变的同时，所述光学补偿元件25、25a至25d提供由所述光瞳像差引起的横向偏移Δz的减小，并且所述光学补偿元件25、25a至25d具有在-2至+2屈光度之间的折射能力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 赫克斯冈技术中心 物镜的光瞳像差的补偿
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