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申请/专利权人：深圳市辰中科技有限公司
摘要：本发明提供了一种晶圆关键尺寸的量测设备及量测方法，包括电子束量测模块，用于在多个预设的量测角度下，采集晶圆上待量测区域的图像数据；图像处理模块，用于对多个所述量测角度对应的图像数据进行特征融合处理，以获取目标图像数据；轮廓提取模块，用于提取所述目标图像数据中所述待量测区域的轮廓特征；以及尺寸计算模块，用于计算所述轮廓特征中目标位置的尺寸，以生成晶圆关键尺寸数据。本发明能够融合多个角度的图像，得到更加准确的关键尺寸数据。
主权项：1.一种晶圆关键尺寸的量测设备，其特征在于，包括：电子束量测模块，用于在多个量测角度下，基于晶圆上预设的定位图形，采集晶圆上待量测区域的图像数据；图像处理模块，用于对多个所述量测角度对应的图像数据进行特征融合处理，以获取目标图像数据；轮廓提取模块，用于提取所述目标图像数据中所述待量测区域的轮廓特征；以及尺寸计算模块，用于计算所述轮廓特征中目标位置的尺寸，以生成晶圆关键尺寸数据；量测偏转模块，用于响应于角度调节指令，调节所述电子束量测模块的量测角度，其中，所述角度调节指令包括所述电子束量测模块的电子束与所述电子束量测模块的发射端中轴线之间的夹角数据；其中，所述图像处理模块包括：特征提取单元，用于将多个所述量测角度对应的图像数据分别输入目标卷积神经网络模型中，以获取多个所述图像数据分别对应的图像特征；以及特征融合单元，用于为多个所述图像特征分别分配特征权重，并基于多个所述图像特征的特征权重对多个所述图像特征进行融合处理，以生成目标图像数据，所述特征权重是预先为每个量测角度的图像特征定义好的，所述特征融合单元通过多个量测角度下的样本图像特征，以及所述样本图像特征对应真实准确的目标图像数据，对初始的特征权重进行优化调整，以获取最优的特征权重。
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权利要求：
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