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申请/专利权人：江苏浦丹光电技术有限公司

摘要：本发明公开了一种光学调制器芯片加工用刻蚀装置，涉及刻蚀装置技术领域，包括刻蚀机，所述刻蚀机的表面固定安装有固定架，所述固定架的底部固定连通有排污管，所述排污管远离固定架的一端贯穿至刻蚀机的底部，此一种光学调制器芯片加工用刻蚀装置，通过设置清洗单元，能够在清洗单元的作用下，对浸泡完成的芯片进行清洗，去除表面残余的污染物，提高芯片的刻蚀质量，同时能够对刻蚀完成的芯片进行清理，去除芯片表面残留的光刻胶和其他杂质，从而保证芯片表面的光洁度和质量，通过设置送料单元，能够配合清洗单元对芯片清洗，同时在清洗的过程中，利用施压块对推块挤压，能够将清洗完成的芯片推出，提高芯片的刻蚀效率。

主权项：1.一种光学调制器芯片加工用刻蚀装置，包括刻蚀机（1），其特征在于：所述刻蚀机（1）的表面固定安装有固定架（11），所述固定架（11）的底部固定连通有排污管（12），所述排污管（12）远离固定架（11）的一端贯穿至刻蚀机（1）的底部，所述固定架（11）的表面固定连接有限位壳（13），所述限位壳（13）的底部与刻蚀机（1）的表面固定连接，所述刻蚀机（1）的内腔固定安装有下料斗（14），所述下料斗（14）的内腔固定安装有吸水垫（15），所述下料斗（14）的顶部固定安装有第一风扇（16），所述刻蚀机（1）的内腔设置有两个清洗送料机构（2）；所述清洗送料机构（2）包括清洗单元（21），所述清洗单元（21）设置于刻蚀机（1）的内腔，所述清洗单元（21）用于对离子水浸泡完成的芯片进行清洗；所述清洗送料机构（2）还包括送料单元（22），所述送料单元（22）设置于刻蚀机（1）的表面，所述送料单元（22）与清洗单元（21）配合使用，所述送料单元（22）用于对清洗完成的芯片进行输送；所述刻蚀机（1）的一侧设置有上料推送机构（3），所述上料推送机构（3）与清洗送料机构（2）配合使用，所述上料推送机构（3）用于对离子水浸泡完成的芯片进行上料；所述刻蚀机（1）的表面设置有烘干机构（4），所述烘干机构（4）与清洗送料机构（2）配合使用，所述烘干机构（4）用于对清洗完成的芯片烘干；所述限位壳（13）的表面设置有输送机构（5），所述输送机构（5）与清洗送料机构（2）配合使用，所述输送机构（5）用于对清洗烘干完成的芯片进行输送。

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