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申请/专利权人：无锡暖芯半导体科技有限公司
摘要：本发明属于半导体晶圆生产过程中冷却液的泵循环技术领域，公开了一种循环系统的自动排气装置，包括排气盒，排气盒内部中空，排气盒的盒璧设有泵端孔；排气盒的顶璧连接与内腔相通的补液管以及排气管；排气盒的盒璧连接与内腔相通的回液管；其中，泵端孔的高度位于补液管以及排气管的管口以下，回液管接收由泵的输出端泵出并参与循环后的液体。本发明中，排气盒内原有的气体以及循环管路中的气体，被排气盒中的液体挤压，并通过排气管排走，保证了气体的自动排净，无需通过三通阀进行手动排气，同时保证了泵高效安全的运行；补液管、排气管、回液管、排液管直接集成在排气盒上，结构更加简洁，在多支路的情况下不易产生管路交叉与干涉。
主权项：1.一种循环系统的自动排气装置，其特征在于：包括排气盒1，所述排气盒1内部中空，所述排气盒1的盒璧设有用于向泵6的输入口供液的泵端孔11；所述排气盒1的顶璧连接与内腔相通的补液管2以及排气管3；所述排气盒1的盒璧连接与内腔相通的回液管4；其中，所述泵端孔11的高度位于补液管2以及排气管3的管口以下，所述回液管4接收由所述泵6的输出端泵出并参与循环后的液体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡暖芯半导体科技有限公司 一种循环系统的自动排气装置
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