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申请/专利权人：上海盛剑半导体科技有限公司
摘要：本申请提出了一种真空泵组及泵送系统，该真空泵组包括主泵和前级泵；主泵输出口与前级泵吸入口上下对齐设置；主泵包括转子轴、泵体、两个轴承板和两个油箱；两个轴承板沿转子轴轴向分别设置于泵体的轴向两端；两个轴承板的轴向外侧分别固定连接有一油箱；油箱材质的密度小于泵体材质的密度；轴承板包括具有轴孔的轴承凸台和环绕轴承凸台的固定座，在沿转子轴轴向方向上固定座的宽度小于轴承凸台的宽度。通过采用轻质油箱以及减小轴承板中固定座的宽度，对主泵进行轻量化改进设计，以降低真空泵组中位于上层的主泵的重量，从而在主泵输出口与前级泵吸入口上下对齐设置时，能降低真空泵组因两泵的重心位置之间的轴向距离增大而易倾倒的风险。
主权项：1.一种真空泵组，其特征在于，包括主泵和前级泵；所述主泵与所述前级泵呈卧式布置，所述主泵位于所述前级泵的上方，且所述主泵与所述前级泵平行；所述主泵包括一主泵输出口，所述前级泵包括一前级泵吸入口；所述主泵输出口与所述前级泵吸入口上下对齐设置；所述主泵还包括转子轴、泵体、两个轴承板和两个油箱，所述主泵输出口设置于所述泵体下方；两个所述轴承板沿所述转子轴轴向分别设置于所述泵体的轴向两端；所述转子轴穿设于所述泵体内，并回转支承于两个所述轴承板上；两个所述轴承板的轴向外侧分别固定连接有一所述油箱；所述油箱材质的密度小于所述泵体材质的密度；所述轴承板包括具有轴孔的轴承凸台和环绕轴承凸台的固定座，所述转子轴转动连接于所述轴孔内，在沿所述转子轴轴向方向上所述固定座的宽度小于所述轴承凸台的宽度。
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权利要求：
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