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申请/专利权人：上海凡森璞瑞新材料股份有限公司;中核陕西铀浓缩有限公司
摘要：本申请涉及电子特气领域，尤其涉及一种存储仓以及使用电子特气的离子注入装置。本申请提供的存储仓，包括多个依次叠放的料架，每个所述料架相比相邻的下方的一个料架朝取料方向延伸出预定距离，使得物料在存放到所述料架后，上一物料总是相对下一物料延伸出预定距离；驱动机构，设置在所述料架的下方；物料感应传感器，设置在所述驱动机构上；其中，所述驱动机构被配置为，沿取料顺序依次带动所述物料感应传感器沿取料方向移动到将要被取料的所述料架下方检测物料是否存在。
主权项：1.一种存储仓，其特征在于，包括：多个依次叠放的料架，每个所述料架相比相邻的下方的一个料架朝取料方向延伸出预定距离，使得物料在存放到所述料架后，上一物料总是相对下一物料延伸出预定距离；驱动机构，设置在所述料架的下方；物料感应传感器，设置在所述驱动机构上；其中，所述驱动机构被配置为，沿取料顺序依次带动所述物料感应传感器沿取料方向移动到将要被取料的所述料架下方检测物料是否存在。
全文数据：
权利要求：
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