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申请/专利权人：费勉仪器科技(南京)有限公司
摘要：本公开涉及真空装置技术领域，公开了一种摆臂式束流规及真空处理系统。摆臂式束流规包括摆臂运动机构、束流检测机构和线性驱动机构。摆臂运动机构包括固定底座、运动底座和连接杆组件。运动底座与固定底座远端转动连接，能相对于固定底座转动。连接杆组件的远端与运动底座铰接。束流检测机构与运动底座的远端连接。线性驱动机构，输出端与连接杆组件的近端连接，带动连接杆组件推或拉运动底座相对于固定底座转动，以使得束流检测机构进行偏摆运动。
主权项：1.一种摆臂式束流规，包括：摆臂运动机构，所述摆臂运动机构包括：固定底座；运动底座，与所述固定底座远端转动连接，能相对于固定底座转动；连接杆组件，所述连接杆组件的远端与所述运动底座铰接；束流检测机构，与所述运动底座的远端连接；线性驱动机构，输出端与所述连接杆组件的近端连接，带动所述连接杆组件推或拉所述运动底座相对于所述固定底座转动，以使得束流检测机构进行偏摆运动。
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权利要求：
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