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一种用于建筑陶瓷结构色装饰的无机涂层涂覆系统 

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申请/专利权人:杭州诺贝尔陶瓷有限公司;德清诺贝尔陶瓷有限公司;九江诺贝尔陶瓷有限公司;芜湖市诺贝尔新材料有限公司

摘要:本实用新型涉及陶瓷加工技术领域,具体为一种用于建筑陶瓷结构色装饰的无机涂层涂覆系统,其包括真空腔室1、Ti靶材2、Al靶材3、永磁体Ⅰ4、永磁体Ⅱ5、基体传输平台6、高功率磁控放电系统7、驱动电源8、陶瓷岩板基体9、循环水冷却系统10、抽真空系统11、给气系统12、气体气压监测系统13、电流传感器14、电流控制器A15、电流控制器B16、控制单元17。本实用新型用于在陶瓷岩板基体上表面涂覆TiN层和TiAlN层,通过后续的飞秒激光加工系统从而将结构色装饰用于陶瓷岩板生产中。

主权项:1.一种用于建筑陶瓷结构色装饰的无机涂层涂覆系统,包括真空腔室1,其特征在于:所述真空腔室1包括设置在其顶部的Ti靶材2和Al靶材3、设置在所述Ti靶材2正上方的永磁体Ⅰ4和设置在所述Al靶材3正上方的永磁体Ⅱ5;在所述真空腔室1正下方设置有基体传输平台6;所述Ti靶材2和所述Al靶材3分别与高功率磁控放电系统7连接;所述基体传输平台6与驱动电源8连接,所述基体传输平台6用于承载和横向传输被加工的陶瓷岩板基体9,所述驱动电源8用于驱动基体传输平台6上升或下降。

全文数据:

权利要求:

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