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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种基板处理装置、基板处理方法、基板处理系统以及学习用数据的生成方法。基板处理装置包括喷嘴、移动机构、存储部及控制部。移动机构使喷嘴移动。存储部存储学习完毕模型。学习完毕模型是通过将表示喷嘴的移动速度的学习对象速度信息与处理量作为学习用数据进行学习而生成，所述处理量是以基于学习对象速度信息的速度来使喷嘴移动并对学习对象基板执行处理而获取。控制部将处理量的目标量输入至学习完毕模型，由此，从学习完毕模型输出处理时速度信息。控制部在对处理对象基板执行处理时，控制移动机构，以使喷嘴以基于处理时速度信息的速度而移动。处理时速度信息表示喷嘴的移动速度。
主权项：1.一种基板处理装置，将处理液供给至基板以对所述基板执行处理，所述基板处理装置包括：喷嘴，对所述基板供给所述处理液；移动机构，使所述喷嘴及所述基板中的至少一者移动；存储部，存储学习完毕模型；以及控制部，使用所述学习完毕模型来控制所述移动机构，所述学习完毕模型是通过将学习对象速度信息与处理量作为学习用数据进行学习而生成，所述学习对象速度信息表示所述喷嘴的移动速度及学习对象基板的移动速度中的至少一者、或者表示所述喷嘴与所述学习对象基板的相对移动速度，所述处理量是以基于所述学习对象速度信息的速度来使所述喷嘴及所述学习对象基板中的至少一者移动并对所述学习对象基板执行所述处理而获取，所述处理量表示通过所述处理来对所述基板进行处理的量，所述控制部将所述处理量的目标量输入至所述学习完毕模型，由此，从所述学习完毕模型输出处理时速度信息，所述控制部在对处理对象基板执行所述处理时，控制所述移动机构，以使所述喷嘴及所述处理对象基板中的至少一者以基于所述处理时速度信息的速度而移动，所述处理时速度信息表示所述喷嘴的移动速度及所述处理对象基板的移动速度中的至少一者、或者表示所述喷嘴与所述处理对象基板的相对移动速度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置、方法、系统以及学习用数据的生成方法
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