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申请/专利权人：武汉楚兴技术有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及到一种半导体失效定位装置及微光显微探测设备，包括：基座、标记装置、升降装置、透光底板和挡光部，所述升降装置和所述透光底板均设置于所述基座上，所述标记装置位于所述透光底板上方，所述标记装置与所述升降装置固定连接，所述挡光部设置于所述透光底板上，所述标记装置的末端在所述透光底板上的正投影与所述挡光部重叠，本申请在挡光部形成的定位点位于芯片缺陷位置处后，标记装置可通过升降装置完成对芯片另一面的标记，整个标记过程不需要过多的反复标记，简化了标记过程，提升了标记的准确性。
主权项：1.一种半导体失效定位装置，其特征在于，包括：基座、标记装置、升降装置、透光底板和挡光部；所述升降装置和所述透光底板均设置于所述基座上，所述标记装置位于所述透光底板上方，所述标记装置与所述升降装置固定连接，所述挡光部设置于所述透光底板上，所述标记装置的末端在所述透光底板上的正投影与所述挡光部重叠。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉楚兴技术有限公司 一种半导体失效定位装置及微光显微探测设备
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