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一种直拉单晶炉冷却装置 

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申请/专利权人:常州四杰机械科技有限公司

摘要:本发明涉及单晶炉技术领域,具体为一种直拉单晶炉冷却装置,包括蒸发舱、循环压缩组件、冷却套和位于循环压缩组件端部用于循环压缩组件与蒸发舱连通的膨胀阀,冷却套包括隔热外筒和辐射内筒,隔热外筒套接于辐射内筒的外侧且隔热外筒和辐射内筒之间设有间隙,隔热外筒和辐射内筒的顶端呈密封状态,且隔热外筒和辐射内筒的底端与蒸发舱的顶端相连通,辐射内筒的表面设有导流槽。本发明中通过设置一体化水冷套结构,由蒸发舱表面若干循环压缩组件和膨胀阀实现制冷液在冷却套的内部循环流动,组合形成直冷系统,通过若干循环压缩组件和膨胀阀实现制冷液在冷却套内腔中的膨胀降温作用,无需水液作为中间媒介有效提高降温工作效率和控温效果。

主权项:1.一种直拉单晶炉冷却装置,其特征在于,包括:蒸发舱(100)、循环压缩组件(200)、冷却套(300)和位于循环压缩组件(200)端部用于循环压缩组件(200)与蒸发舱(100)连通的膨胀阀(400),所述冷却套(300)包括隔热外筒(310)和辐射内筒(320),所述隔热外筒(310)套接于辐射内筒(320)的外侧且隔热外筒(310)和辐射内筒(320)之间设有间隙,所述隔热外筒(310)和辐射内筒(320)的顶端呈密封状态,且隔热外筒(310)和辐射内筒(320)的底端与蒸发舱(100)的顶端相连通,所述辐射内筒(320)的表面设有导流槽(321);所述循环压缩组件(200)包括压缩缸套(210)、驱动电机(220)以及位于压缩缸套(210)内侧的压缩部(230),所述压缩缸套(210)的表面设有第一回流管(211)和第二回流管(212),且第一回流管(211)和第二回流管(212)的另一端与冷却套(300)的表面固定连接,所述压缩部(230)包括摆座(231)、动涡旋(232)和静涡旋(233),所述摆座(231)和静涡旋(233)固定安装于压缩缸套(210)的内侧且摆座(231)和静涡旋(233)的外周与压缩缸套(210)的内侧密封连接。

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