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一种炉盖及单晶炉 

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申请/专利权人:甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司

摘要:本申请公开了一种炉盖及单晶炉,涉及单晶硅生产制造技术领域。所述炉盖包括本体和冷却组件,所述本体具有第一容纳腔,所述冷却组件包括第一冷却通道和第二冷却通道,所述第一冷却通道和所述第二冷却通道均设置在所述第一容纳腔中,所述第一冷却通道和所述第二冷却通道均用于对经过所述炉盖的晶体进行冷却。本申请提高了其换热效果,进一步提高了对其晶体的冷却效果,加快了单晶硅的长晶速度,同时增加了单位时间内的单晶硅棒产出量,以及降低生产成本。

主权项:1.一种炉盖,其特征在于,所述炉盖包括:本体,所述本体具有第一容纳腔;冷却组件,所述冷却组件包括第一冷却通道和第二冷却通道,所述第一冷却通道和所述第二冷却通道均设置在所述第一容纳腔中,所述第一冷却通道和所述第二冷却通道均用于对经过所述炉盖的晶体进行冷却。

全文数据:

权利要求:

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