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一种单晶炉用加料器护套 

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申请/专利权人:乐山市京运通半导体材料有限公司

摘要:本实用新型提供了一种单晶炉用加料器护套,应用于加料筒,所述加料筒上设有进料口、出料口,所述加料筒内腔沿进料口到出料口插入中心轴,所述中心轴下端设有石英椎体,所述石英椎体的最大直径与出料口内径充分配合,所述出料口的外侧设置有加料器护套,所述加料器护套的上端搭接于加料筒的外侧,所述加料器护套的下端朝向石英椎体的下方延伸。

主权项:1.一种单晶炉用加料器护套,其特征在于,应用于加料筒1,所述加料筒1上设有进料口2、出料口3,所述加料筒1内腔沿进料口2到出料口3插入中心轴4,所述中心轴4下端设有石英椎体5,所述石英椎体5的最大直径与出料口3内径充分配合,所述出料口3的外侧设置有加料器护套6,所述加料器护套6的上端搭接于加料筒1的外侧,所述加料器护套6的下端朝向石英椎体5的下方延伸。

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权利要求:

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