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申请/专利权人：甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司
摘要：本实用新型提供一种单晶硅生产设备，包括：第一炉室、第二炉室以及氩气回收装置。第一炉室设有第一进气口以及第一出气口，第一进气口与第一出气口连通；第二炉室与第一炉室连通，第二炉室设有第二进气口以及第二出气口，第二进气口与第二出气口连通；氩气回收装置包括第一回路以及第二回路，第一回路的进气端与第一出气口连通，第二回路的进气端与第二出气口连通，第一回路具有第一出气端以及第二出气端，第二回路具有第三出气端以及第四出气端，第一出气端与第四出气端连通，第二出气端与第三出气端连通，第一出气端与第二出气端的通断关系相反，第三出气端与第四出气端的通断关系相反。本实用新型的单晶硅生产设备能够提高回收尾氩气的纯度。
主权项：1.一种单晶硅生产设备，其特征在于，包括：第一炉室，所述第一炉室设有第一进气口以及第一出气口，所述第一进气口与所述第一出气口连通；第二炉室，所述第二炉室与所述第一炉室连通，所述第二炉室设有第二进气口以及第二出气口，所述第二进气口与所述第二出气口连通；氩气回收装置，所述氩气回收装置包括第一回路以及第二回路，所述第一回路的进气端与所述第一出气口连通，所述第二回路的进气端与所述第二出气口连通，所述第一回路具有第一出气端以及第二出气端，所述第二回路具有第三出气端以及第四出气端，所述第一出气端与所述第四出气端连通，所述第二出气端与所述第三出气端连通，且所述第一出气端与所述第二出气端的通断关系相反，所述第三出气端与所述第四出气端的通断关系相反。
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权利要求：
百度查询： 甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司 单晶硅生产设备
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