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申请/专利权人：甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司
摘要：本实用新型提供一种进气装置及单晶炉，涉及单晶硅设备技术领域，该进气装置包括多个进气管、气体管道和排气组件。每个进气管均连通混气通道，且进气管能够控制进气流量，混气通道分别连通第一通道和第二通道，且混气通道能够分别控制通入第一通道和第二通道的进气流量，排气组件包括第一排气口和第二排气口，多个第一排气口环绕设置于第一通道，多个第二排气口环绕设置于第二通道。本实用新型能够应用于单晶炉制备单晶硅棒的生产过程中，设置多个进气管控制多种气体的进气流量，使多种气体中的一种或者几种气体通过混气通道进行混合后，提升气体的均匀性，根据对混合气体的类型和比例的需要进行配比，提升了进气装置的通用性。
主权项：1.一种进气装置，其特征在于，包括：气体管道，包括混气通道、第一通道和第二通道，所述混气通道分别连通所述第一通道和所述第二通道，且所述混气通道能够分别控制通入所述第一通道和所述第二通道的进气流量；多个进气管，每个所述进气管均连通所述混气通道，且所述进气管能够控制进气流量；排气组件，所述排气组件包括第一排气口和第二排气口，多个所述第一排气口环绕设置于所述第一通道远离所述混气通道的一端，多个所述第二排气口环绕设置于所述第二通道远离所述混气通道的一端。
全文数据：
权利要求：
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