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申请/专利权人：浙江求是创芯半导体设备有限公司
摘要：本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了混气接头、进气装置及半导体加工设备，混气接头用于连接第一进气管和第二进气管，混气接头开设有混气腔和连通混气腔的第一进气口、第二进气口和出气口，混气接头可拆卸连接于第一进气管和第二进气管，第一进气管连通第一进气口，且第一进气口和混气腔的轴向夹角小于90°，第二进气管连通第二进气口，混气接头的内部设置有进气通道且内壁开设有连通混气腔的多个混气孔，多个混气孔绕混气腔的轴向间隔分布，第二进气口经由进气通道连通多个混气孔。本实用新型的混气接头能够由侧壁上环状设置的多个混气孔提高混合气体的混合均匀性，减小进气装置占用的空间体积，提升半导体加工设备对晶圆表面刻蚀均匀性。
主权项：1.混气接头，用于连接第一进气管和第二进气管100，所述第一进气管用于提供第一气体，所述第二进气管100用于提供第二气体，其特征在于，所述混气接头开设有混气腔10和连通所述混气腔10的第一进气口11、第二进气口12和出气口13，所述混气接头可拆卸连接于所述第一进气管和所述第二进气管100，所述第一进气管连通所述第一进气口11，且所述第一进气口11和所述混气腔10的轴向夹角小于90°，所述第二进气管100连通所述第二进气口12，所述混气接头的内部设置有进气通道15且内壁开设有连通所述混气腔10的多个混气孔14，多个所述混气孔14绕所述混气腔10的轴向间隔分布，所述第二进气口12经由所述进气通道15连通多个所述混气孔14。
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百度查询： 浙江求是创芯半导体设备有限公司 混气接头、进气装置及半导体加工设备
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