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申请/专利权人：正泰新能科技股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种链式高温碱槽抽风管道控制与清洁装置，包括：机架、槽体、抽风管道组件和清洁组件，槽体和抽风管道组件设于机架上，抽风管道组件用于抽取槽体内的碱气，清洁组件与抽风管道组件连通。当需要清洁抽风管道组件和槽体时，关闭抽风管道组件的抽风功能，开启清洁组件，以对对抽风管道组件和槽体的内部进行清洁，以去除抽风管道组件内部的碱结晶，以防止堵塞抽风管道组件，因此可以保证槽体内的碱气被正常抽出，以避免出现碱气聚体而无法被抽出的问题，同时避免了因为碱结晶堵塞导致设备出现无法抽风而出现着火等安全隐患，此外也降低了因热碱凝结后滴落下方槽体中造成硅片表面反应不良和边角过刻等现象，从而提高硅片良率。
主权项：1.一种链式高温碱槽抽风管道控制与清洁装置，包括机架100和设于所述机架100上的槽体200，其特征在于，还包括：抽风管道组件300，所述抽风管道组件300设于所述机架100上，所述抽风管道组件300用于抽取所述槽体200内的碱气；清洁组件400，所述清洁组件400与所述抽风管道组件300连通，所述清洁组件400用于对所述抽风管道组件300和所述槽体200的内部进行清洁。
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