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申请/专利权人：山东有研艾斯半导体材料有限公司
摘要：本发明公开了一种直拉单晶生产中液面距的监测及报警方法，解决在拉晶过程中埚跟比设置不合适导致的生产问题，属于单晶硅棒制造技术领域。该方法中，在单晶炉炉盖两侧视窗处设置两个可移动的非接触式红外比色测温仪；在等径生长开始时，移动两个测温仪对准单晶棒外周与熔体液面交界的固液界面处进行温度测量并固定，从而标定正常温度；随后将两个测温仪分别连接对应的微控制器，两个微控制器分别读取各自连接的红外测温仪输出的温度值，并进行高温和低温判断；两个微控制器的高温和低温报警信号分别连接到逻辑与门，并对逻辑与门进行冗余设计，只有当两个微控制器都检测到异常温度时，逻辑与门才会输出信号，用于驱动蜂鸣器和相应的LED灯，实现准确报警。
主权项：1.一种直拉单晶生产中液面距的监测及报警方法，其特征在于，在单晶炉炉盖两侧视窗处设置两个可移动的非接触式红外比色测温仪；在等径生长开始时，移动两个测温仪对准单晶棒外周与熔体液面交界的固液界面处进行温度测量并固定，从而标定正常温度；随后将两个测温仪分别连接对应的微控制器，两个微控制器分别读取各自连接的红外测温仪输出的温度值，并进行高温和低温判断；两个微控制器的高温和低温报警信号分别连接到逻辑与门，并对逻辑与门进行冗余设计，只有当两个微控制器都检测到异常温度时，逻辑与门才会输出信号，用于驱动蜂鸣器和相应的LED灯，实现准确报警。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东有研艾斯半导体材料有限公司 一种直拉单晶生产中液面距的监测及报警方法
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