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申请/专利权人：河南江迪新材料有限公司
摘要：本发明公开了一种亚纳米级高纯陶瓷粉生产工艺，具体涉及亚纳米级高纯陶瓷粉生产技术领域，包括S1、原料选取和预处理，S2、高温烧结与晶体合成，S3、超细研磨与掺杂，S4、化学反应与清洗，S5、烘干和包装。本发明的陶瓷粉具有极细粒径、高比表面积以及较高的纯度，能够展现出更高的化学和物理活性，应用于半导体材料基板，隐形材料涂层和半导体材料晶托领域中具有良好的效果。
主权项：1.一种亚纳米级高纯陶瓷粉生产工艺，其特征在于：该生产工艺具体包括以下步骤：S1、原料选取和预处理，选取纯度为99.99％的高纯石英，高纯碳和高纯盐作为主要原料，并引入高纯氧化铝或高纯氧化镁作为副掺杂剂，将原料进行超声波清洗，去除原料表面的尘埃和附着物，以及部分微量杂质，并进行微波辅助化学气相沉积处理，使得原料表面形成一层薄薄的保护膜；S2、高温烧结与晶体合成，将高纯度石英、高纯碳和高纯盐按照比例进行混合，加入高纯氧化铝或高纯氧化镁副掺杂剂进行混合均匀，将混合后的原料置于高温烧结炉中，加入硼酸或碳酸锂作为烧结助剂在无氧环境下以2000-2500℃温度烧结成绿色碳化硅晶体；S3、超细研磨与掺杂，采用行星式球磨机作为研磨设备，选用氧化锆和高纯碳化硅作为磨介对绿色碳化硅晶体研磨至300-400h，同时引入硼和磷作为微量和多元掺杂剂；S4、化学反应与清洗，将研磨好的浆料放入反应釜内依次加入20PPM以下的硫酸、硝酸和氢氟酸加温200℃反应24h后放入搅拌罐采用清洗剂洗酸至PH7；将洗好浆料放入反应釜加入20PPM的盐酸反应24h后放入搅拌罐，采用6PPM超纯水进行清洗至PH4-5；S5、烘干和包装，将浆料放入80-100℃的低温烘干箱进行烘干后粉碎包装。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河南江迪新材料有限公司 一种亚纳米级高纯陶瓷粉生产工艺
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