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申请/专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
摘要：本发明公开了一种用于稳定气流的分气管路，所述分气管路包括：主体、压力调整装置以及压力指示装置；所述主体包括：进气管路、从所述进气管路分出的第一分气管路和第二分气管路；所述进气管路连接反应源；第一分气管路连接腔室；第二分气管路连接抽气泵；其中，所述第一分气管路上设置有压力指示装置；所述压力指示装置包括指示条以及位于所述指示条两侧的两个测量波纹管；其中，所述第二分气管路上设置有压力调整装置；所述压力调整装置包括能在所述主体内部自由滑动的阀芯、套设于所述阀芯外且与所述主体螺纹连接的调节螺母以及锁紧装置。
主权项：1.一种用于稳定气流的分气管路，其特征在于，所述分气管路包括：主体、压力调整装置以及压力指示装置；所述主体包括：进气管路、从所述进气管路分出的第一分气管路和第二分气管路；所述进气管路连接反应源；第一分气管路连接腔室；第二分气管路连接抽气泵；其中，所述第一分气管路上设置有所述压力指示装置；所述压力指示装置包括指示条以及位于所述指示条两侧的两个测量波纹管；其中，所述第二分气管路上设置有所述压力调整装置；所述压力调整装置包括能在所述主体内部自由滑动的阀芯、套设于所述阀芯外且与所述主体螺纹连接的调节螺母以及锁紧装置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆科技(上海)有限公司 一种用于稳定气流的分气管路
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