买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:清华大学
摘要:本发明属于辐照加工技术领域,公开一种用于非线性磁铁法与扩束法辐照加工的旋转式样品台,其中,旋转样品台包括样品台本体、动力部件和固定装置;动力部件用于驱动样品台本体旋转,动力部件与固定装置固定连接;样品台本体包括旋转样品盘和芯片压板,旋转样品盘的一侧与芯片压板可拆卸连接。本发明的动力部件驱动旋转样品盘上的样品旋转,使辐照在以样品中心为圆点的同心圆环内均匀分布,使得大尺寸样品表面的辐照剂量均匀性得到进一步的调控,可以满足多种尺寸样品的均匀性要求。
主权项:1.一种用于非线性磁铁法与扩束法辐照加工的旋转式样品台,其特征在于,包括样品台本体、动力部件和固定装置;其中,所述动力部件用于驱动所述样品台本体旋转,所述动力部件与所述固定装置固定连接;所述样品台本体包括旋转样品盘和芯片压板,所述旋转样品盘的一侧与所述芯片压板可拆卸连接。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 清华大学 一种用于非线性磁铁法与扩束法辐照加工的旋转式样品台
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。