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申请/专利权人：上海渺知科技有限公司
摘要：本发明公开了一种高密度布局的三轴宽频带磁场传感器及其制备方法，属于磁场传感器技术领域，一种高密度布局的三轴宽频带磁场传感器，包括三层基板且均设置有桥式电路，三层基板从上到下依次为Z轴基板、Y轴基板以及X轴基板，Y轴基板和X轴基板的水平面上分别设置有相互垂直的磁敏感元件，Z轴基板连接的磁敏感元件垂直设置在Y轴基板的垂直侧边。同时公开了一种制备方法，采用上述一种高密度布局的三轴宽频带磁场传感器及其制备方法，采取多层叠放、极小封装焊接以及高密度布局的方式，减小传感器的体积，实现空间中单点的高精度矢量磁场测量，且制备工艺简单，易于实现，保证了检测Z轴方向磁场的磁敏感元件的垂直度。
主权项：1.一种高密度布局的三轴宽频带磁场传感器，其特征在于：包括上下叠放设置的三层基板，三层基板均设置有桥式电路，且三层基板电连接，三层基板从上到下依次为Z轴基板、Y轴基板以及X轴基板，Y轴基板和X轴基板的水平面上分别设置有相互垂直的磁敏感元件分别用于检测Y轴方向和X轴方向的磁场，Z轴基板连接有用于检测Z轴方向磁场的磁敏感元件，用于检测Z轴方向磁场的磁敏感元件垂直设置在Y轴基板的垂直侧边。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海渺知科技有限公司 一种高密度布局的三轴宽频带磁场传感器及其制备方法
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