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申请/专利权人：三星显示有限公司
摘要：激光结晶化装置包括：光源部，产生激光束；第一窗体，与光源部隔开，并使激光束透射；光束切割器，配置于第一窗体的下方，并阻断透射第一窗体的激光束的一部分；腔室，配置于光束切割器的下方；光束检测部，配置于腔室的内部；第一镜，配置于光束切割器的表面，并反射激光束；第二镜，配置于光束检测部上，并反射激光束；以及光束收集器，与第一窗体在第一方向上隔开，并消散反射的激光束。
主权项：1.一种激光结晶化装置，其特征在于，包括：光源部，产生激光束；第一窗体，与所述光源部隔开，并使所述激光束透射；光束切割器，配置于所述第一窗体的下方，并阻断透射所述第一窗体的所述激光束的一部分；腔室，配置于所述光束切割器的下方；光束检测部，配置于所述腔室的内部；第一镜，配置于所述光束切割器的表面，并反射所述激光束；第二镜，配置于所述光束检测部上，并反射所述激光束；以及光束收集器，与所述第一窗体在第一方向上隔开，并消散反射的所述激光束。
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