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申请/专利权人：北京理工大学
摘要：本发明公开一种用于空心阴极羽流诊断的阻滞能量分析仪，包括壳体，截面为凸形结构；包括外壳和外壳底座；壳体内限定出测试腔；外壳顶面中心开设有入射孔；外壳底座中心对应开设有穿线孔；隔离部包括绝缘外套筒和绝缘内套筒；绝缘内套筒内安装有压紧弹簧，压紧弹簧一端与外壳底座的端面抵接；分析测试部，设置于绝缘外套筒内，包括若干组沿入射孔至穿线孔方向设置的栅网组，绝缘压紧垫块和收集器；每一栅网组内包括陶瓷垫片和高透过率栅网；导线组，每一高透过率栅网上均焊接有导线的一端，导线另一端通过穿线孔引出壳体。本发明可以完成对空心阴极羽流中的离子能量分布的测量和表征，以获得关键工况参数对电离不稳定及溅射腐蚀的影响规律。
主权项：1.一种用于空心阴极羽流诊断的阻滞能量分析仪，其特征在于，包括：壳体，截面为凸形结构；包括外壳1和外壳底座15；所述壳体内限定出测试腔；所述外壳1顶面中心开设有入射孔，被配置为空心阴极羽流区中等离子体的入口；所述外壳底座15中心对应开设有穿线孔；隔离部，包括绝缘外套筒12和绝缘内套筒13；所述绝缘内套筒13内安装有压紧弹簧14，所述压紧弹簧14一端与所述外壳底座15的端面抵接；分析测试部，设置于所述绝缘外套筒12内，包括若干组沿入射孔至穿线孔方向设置的栅网组，绝缘压紧垫块11和收集器；所述压紧弹簧14的另一端与所述绝缘压紧垫块11端面抵接；每一所述栅网组内包括陶瓷垫片和高透过率栅网10；相邻所述栅网组之间的间距为其之间所述陶瓷垫片的厚度；导线组，每一所述高透过率栅网10上均焊接有导线的一端，所述导线另一端通过所述穿线孔引出所述壳体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京理工大学 一种用于空心阴极羽流诊断的阻滞能量分析仪
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