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申请/专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
摘要：本发明公开了一种光刻靶标图像去模糊的方法及装置、去模糊模型和光刻机，其中，光刻靶标图像去模糊的方法包括：获取光刻靶标原始图像；通过去模糊模型对图像进行去模糊处理，去模糊模型是基于UNet形式的网络架构，去模糊模型包括多个串联连接的编码器、多个串联连接的解码器和多个特征融合模块，末个编码器的输出端与首个解码器的输入端连接，每个特征融合模块均以所有编码器输出的特征图作为输入，每个特征融合模块的输出端跳跃连接至对应解码器的输出端，对应解码器不包括末个解码器；获得多个解码器中末个解码器输出的图像，以作为光刻靶标目标图像。本发明的方法能够有效地将模糊图像恢复至高质量的清晰图像，从而提高了图像去模糊的效果。
主权项：1.一种光刻靶标图像去模糊的方法，其特征在于，包括：获取光刻靶标原始图像；通过去模糊模型对所述光刻靶标原始图像进行去模糊处理，所述去模糊模型以所述光刻靶标原始图像作为输入，所述去模糊模型是基于UNet形式的网络架构，所述去模糊模型包括多个串联连接的编码器、多个串联连接的解码器和多个特征融合模块，末个编码器的输出端与首个解码器的输入端连接，每个所述特征融合模块均以所有所述编码器输出的特征图作为输入，每个所述特征融合模块的输出端跳跃连接至对应解码器的输出端，所述对应解码器不包括末个解码器；获得多个所述解码器中末个解码器输出的图像，以作为光刻靶标目标图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 光刻靶标图像去模糊的方法及装置、去模糊模型和光刻机
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