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申请/专利权人：江阴市大洋固废处置利用有限公司
摘要：本发明公开了一种光刻胶剥离废液回收系统，包括相连接的蒸馏釜和蒸馏塔，蒸馏塔上设置有侧线汽相采出口和塔顶采出口，侧线汽相采出口与第一冷凝器连通，第一冷凝器的馏出液出口与成品罐连通；塔顶采出口通过第二冷凝器分别与含水馏分罐和和中间馏分罐连通；蒸馏塔与真空机组连通。该剥离废液组分回收系统采用单塔运行，蒸馏塔与真空机组连通，通过真空机组调节蒸馏塔的真空度，利于光刻胶剥离液中含水馏分、中间馏分、成品和塔釜重组分的分离。本发明还公开了一种光刻胶剥离废液的回收工艺。
主权项：1.一种光刻胶剥离废液的回收工艺，其特征在于，基于光刻胶剥离废液回收系统，所述光刻胶剥离废液回收系统包括相连接的蒸馏釜和蒸馏塔，所述蒸馏塔上设置有侧线汽相采出口和塔顶采出口，所述侧线汽相采出口与第一冷凝器连通，所述第一冷凝器的馏出液出口与成品罐连通；所述塔顶采出口通过第二冷凝器分别与含水馏分罐和和中间馏分罐连通；所述蒸馏塔与真空机组连通；包括以下步骤：S1：常压下持续加热蒸馏釜中的原料，经由蒸馏塔的塔顶采出蒸馏塔进料中的含水馏分；S2：减压蒸馏，继续采出含水馏分；S3：停止含水馏分的采出，经由蒸馏塔的侧线汽相采出口采出成品，同时蒸馏塔的塔顶采出中间馏分；S4：提高蒸馏塔的真空度，继续采出成品；S5：停止成品采出，蒸馏釜降温升压，得分离的含水馏分、中间馏分、成品和塔釜重组分；所述蒸馏塔的塔顶设置有内回流器，所述内回流器的下方设置有侧线液相采出口和外回流口，所述侧线液相采出口与外回流冷凝器连通，所述外回流冷凝器的采出液出料口与外回流口相通；所述第二冷凝器的馏出液出口与外回流冷凝器的进料口连接，所述外回流冷凝器的采出液出料口与所述含水馏分罐、成品罐以及中间馏分罐连通；所述含水馏分罐、成品罐、中间馏分罐以及第二冷凝器均与真空机组连通；还包括真空缓冲罐，所述第二冷凝器的馏分冷凝通道与真空缓冲罐连通，所述真空缓冲罐与真空机组连通。
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权利要求：
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