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申请/专利权人：ASMIP控股有限公司
摘要：公开了衬底保持设备、包括所述衬底保持设备的负载锁组件，以及包含所述衬底保持设备的系统。所述衬底保持设备可包含至少一个侧壁和一个或多个热屏蔽件。所述至少一个侧壁中的一个或多个可包含冷却流体管道，以促进由所述衬底保持设备保持的衬底的冷却。另外或替代地，所述至少一个侧壁中的一个或多个可包含气体管道以将气体提供到所保持衬底的表面。
主权项：1.一种衬底保持设备，所述衬底保持设备包括：底板；至少一个侧壁，其联接到所述底板，其中所述至少一个侧壁包括至少一个冷却流体管道，所述至少一个冷却流体管道被配置成允许冷却流体流过其中；至少一个衬垫，其联接到所述至少一个侧壁中的一个侧壁且从所述侧壁突出，所述至少一个衬垫被配置成接收衬底；以及至少一个热屏蔽件，其联接到所述侧壁，其中，所述热屏蔽件包括用于从所述侧壁内的冷却流体管道接收的气体的开口，且所述开口相对于穿过所述热屏蔽件的中心线成角度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASMIP控股有限公司 衬底保持设备、包含所述设备的系统及其使用方法
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