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可自加热的激光诱导石墨烯柔性NO2气体传感器的制备方法 

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申请/专利权人:河北工业大学

摘要:本发明为可自加热的激光诱导石墨烯柔性NO2气体传感器的制备方法。本发明包括绝缘区域、电极区域、银涂层区域与气敏区域,所述绝缘区域设置于底端,所述电极区域与所述气敏区域设置于绝缘区域上表面,所述银涂层区域设置于电极区域两端的电极连接区域,所述电极区域与气敏区域为通过激光的高能量一步诱导制备的具有更大孔隙率结构的三维多孔石墨烯图案。气敏区域由于其独特石墨烯三维结构尺寸,可省去额外添加气敏材料的步骤,达到同样甚至更好效果的气体吸附。该方法利于NO2气体分子快速脱附,提高传感器使用重复性,降低制造成本,制造周期短,灵敏度高,检测限可以达到10ppb,在环境监测和医疗诊断方面有广阔的应用前景。

主权项:1.一种可自加热的激光诱导石墨烯柔性NO2气体传感器的制备方法,该方法包括下述步骤:1将聚酰亚胺PI胶带裁剪至所需尺寸的矩形形状;2通过水溶胶将经步骤1得到的PI胶带粘至载玻片表面;3将经步骤2得到的PI胶带利用高能量激光诱导出三维石墨烯图案,三维石墨烯图案包括两端的电极连接区域和连接两电极连接区域的单线石墨烯区域,单线石墨烯区域起到连接两电极连接区域的作用,形成导电通路,同时又能直接作为气敏区域;所述单线石墨烯的宽度为40-90μm;所述激光为波长355nm的UV激光器,所述高能量激光参数为:激光功率1.0-1.5W,离焦距离4.5-5.5mm,扫描速度70-200mms;能获得孔隙率更大的石墨烯微观结构;4将经步骤3得到的电极连接区域用导电银墨水对其上表面完全涂覆,制成银涂层区域;5将涂好银涂层的组合体脱离载玻片后,再通过热释活胶带转移至柔性可拉伸基底上,制成柔性气体传感器。

全文数据:

权利要求:

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