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用于半导体蚀刻废液中氯化铜提纯的电渗析装置 

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申请/专利权人:中海油天津化工研究设计院有限公司;中国海洋石油集团有限公司

摘要:本发明公开了一种用于半导体蚀刻废液中提纯氯化铜电渗析装置。本发明电渗析装置包括淡化室、浓缩室和极室,由阳离子交换膜、阴离子交换膜间隔排列构成,其中所述的阳离子交换膜为提纯铜的复合膜。利用电渗析装置在直流电场推动下进行操作,采用复合膜选择性透过Na+离子而截留Cu2+离子,能实现对废液中铜的纯化,有利于后续资源化利用。本发明基于选择性阳离子交换的复合膜的电渗析装置用于蚀刻废液中氯化铜的提纯,具有操作简单、占地小、易于模块化放大等优点。

主权项:1.一种用于半导体蚀刻废液中氯化铜提纯的电渗析装置,包括淡化室、浓缩室和极室,由阳离子交换膜、阴离子交换膜间隔排列构成,其特征在于,所述的阴离子交换膜为商品化阴离子交换膜,所述的阳离子交换膜为由如下方法制备得到复合膜:1)将阳离子交换膜基膜浸泡在含有Fe3+离子的溶液中,溶液搅拌静置0.5-1小时后取出,并用去离子水清洗表面,获得铁型阳离子交换膜;其中含Fe3+溶液为氯化铁、硝酸铁或硫酸铁的溶液,溶液中Fe3+离子浓度为0.01-1molL;所述的阳离子交换膜基膜为日本富士公司的Type12型阳离子交换膜;2)配制浓度为9.5~10.5mmolL的Tris-HCl缓冲溶液,将其中加入多巴胺和聚乙烯亚胺,并用盐酸和氢氧化钠将pH调至8~9,获得共沉积溶液;3)将步骤1)制得的铁型阳离子交换膜浸入步骤2)配制的共沉积溶液中,反应0.5-6小时后,取出后用清水冲洗表面,获得用于半导体蚀刻废液的提纯氯化铜的复合膜。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中海油天津化工研究设计院有限公司 中国海洋石油集团有限公司 用于半导体蚀刻废液中氯化铜提纯的电渗析装置

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