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申请/专利权人：渠梁电子有限公司
摘要：本实用新型涉及一种晶圆测试装置，尤其涉及一种针测机，其中包括：设置有探针卡的连接台；用于存放和安装晶圆的晶圆装载装置；侦测台，侦测台设置在连接台一侧，侦测台上设置有侦测装置，侦测装置朝向侦测台顶面的第一区域设置；信号主板，机械臂与信号主板信号连接；保护盖，保护盖可拆卸地与探针卡连接；在保护盖放置在第一区域后，信号主板与侦测装置串联，从而形成电连接；在保护盖从第一区域移除后，信号主板与侦测装置断开连接。通过本实用新型的结构，可通过侦测台上的侦测装置的串联介入电路，实现对保护盖的实时监测，以提高针测机的安全性和工作效率。
主权项：1.一种针测机，用于对晶圆进行测试，其特征在于，所述针测机包括：连接台，所述连接台上设置有用于与所述晶圆连接的探针卡；晶圆装载装置，所述晶圆装载装置包括用于将所述晶圆放置在所述探针卡上的机械臂；侦测台，所述侦测台设置在所述连接台一侧，所述侦测台上设置有侦测装置，所述侦测装置朝向所述侦测台顶面的第一区域设置；信号主板，所述机械臂与所述信号主板信号连接；保护盖，所述保护盖可拆卸地与所述探针卡连接；在所述保护盖放置在所述第一区域后，所述信号主板与所述侦测装置串联，从而形成电连接；在所述保护盖从所述第一区域移除后，所述信号主板与所述侦测装置断开连接。
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