龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏芯德半导体科技股份有限公司
摘要：本发明提供一种挂镀式电镀机清洗槽，属于半导体封装技术领域，包括槽体、进水装置、排水装置以及喷淋装置，进水装置设置在槽体的侧边，排水装置设置在槽体的底部，喷淋装置设置在槽体的内部，还包括设置在槽体两侧的直线电机，直线电机的输出端连接有喷淋装置的移动部，移动部包括两条平行设置的移动杆，两条移动杆之间均匀设置有一组喷淋杆，喷淋杆的杆壁上设置有一组喷嘴，喷淋杆与进水装置连通；本发明通过直线电机带动喷淋装置在槽体内部上下移动，可以对晶圆表面进行全覆盖清洗，提高清洗效率，节约清洗用水。
主权项：1.一种挂镀式电镀机清洗槽，包括槽体（1）、进水装置（2）、排水装置（3）以及喷淋装置（4），所述进水装置（2）设置在所述槽体（1）的侧边，所述排水装置（3）设置在槽体（1）的底部，所述喷淋装置（4）设置在所述槽体（1）的内部，其特征在于：还包括设置在所述槽体（1）两侧的直线电机（5），所述直线电机（5）的输出端连接有所述喷淋装置（4）的移动部，所述移动部包括两条平行设置的移动杆（4-1），两条移动杆（4-1）之间均匀设置有一组喷淋杆（4-2），所述喷淋杆（4-2）的杆壁上设置有一组喷嘴（4-3），所述喷淋杆（4-2）与所述进水装置（2）连通；所述直线电机（5）带动移动部上下移动，从而带动喷嘴上下移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏芯德半导体科技股份有限公司 一种挂镀式电镀机清洗槽
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号