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申请/专利权人：常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种低压反应室底座法兰，涉及低压反应技术领域。该低压反应室底座法兰，包括法兰，所述法兰的顶部外壁开设有尾气管出口，所述法兰的底部外壁焊接有异径转接头，所述法兰的底部外壁开设有供异径转接头焊接的环形槽，所述尾气管出口为椭圆形状。本实用新型维持现有反应室底座法兰的基本结构，将尾气管出口结构由原来的直径φ50圆口更改为截面积更大的椭圆形开孔，同时设计增加异径转接头，将法兰椭圆形接口与标准件φ100弯头焊接对接，法兰底面开环形槽保证焊接可实施性，达到扩大尾气真空系统与法兰接口区域的截面积的作用，从而保证生产时在反应室底座法兰上方与反应釜密封区域内的压力能稳定在10mbar以内。
主权项：1.一种低压反应室底座法兰，包括法兰1，其特征在于：所述法兰1的顶部外壁开设有尾气管出口2，所述法兰1的底部外壁焊接有异径转接头3，所述法兰1的底部外壁开设有供异径转接头3焊接的环形槽4。
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权利要求：
百度查询： 常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司 一种低压反应室底座法兰
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